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Exemples d’applications
  • Adhérence & liaisons
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  • Propreté
  • Composition
  • Contamination
  • Corrosion
  • Profilage en profondeur
  • Diffusion
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  • Dopants
  • Analyse des défaillances
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  • Caractérisation des matériaux & analyse des surfaces
  • Morphologie & topographie
  • Développement des processus & suivi des processus
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Les analyses de profondeur sont des tracés qui montrent la concentration (axe Y) au sujet de la profondeur (axe X). Ils peuvent s’obtenir en faisant un suivi constant de la profondeur (par ex., SIMS) des espèces spécifiques retenues, ou en faisant un suivi par étapes en retirant le matériau, en le mesurant puis en répétant le processus (par ex., XPS ou Auger). L’épaisseur des couches retenues et les seuils de détection exigés sont des facteurs importants pour choisir la meilleure technique possible applicable à un échantillon donné.

S’il n’est pas fait correctement, des éléments artificiels ou des erreurs peuvent s’introduire dans les profils de profondeur en raison de la complexité de la mesure. Evans Analytical Group® (EAG) a une compréhension rigoureuse de la manière d’acquérir des profils de profondeur dans des conditions optimisées sans introduire d’effet artificiels inutiles, en puisant dans de nombreuses années d’expérience antérieure acquises dans de nombreux types d’échantillons.

Techniques primaires

Techniques secondaires

  • Spectroscopie Raman
  • Spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford (RBS)
  • SIMS temps de vol (TOF-SIMS)
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